عاملان و بانیان: عمربن عبدالعزیز آل ابیدُلَف ـ بانی اولیه ابوطاهر حسینبن غالیبن احمد ـ بانی گنبد و ایوان جنوبی (دورهٔ سلجوقیان) سلطان بیک (از حکام دورهٔ شاهطهماسب صفوی) ـ بانی مرمت میرمحمد سعید امیرجمله (امیر جملةالملک اردستانی) ـ بانی ایوان شرقی(دورهٔ صفویان) علیبن احمد طباطبائی زوارهای ـ بانی ایوان شمالی و غرفههای متصل به آن (دورهٔ صفویان) محمدمهدی حکیمالملک اردستانی ـ بانی استاد محمدبن محمد اصفهانی ـ معمار ایوان جنوبی و ملحقات آن (دورهٔ سلجوقیان) حیدرعلی معمار اردستانی ـ معمار ایوان شمالی (دورهٔ صفویان)
توضیحات: مبتنی بر گنجنامه، بنای اولیهٔ مسجد در حدود اواخر قرن دوم تا نیمهٔ اول قرن چهارم قمری احداث شده است؛ گنبد فعلی مسجد متعلق به نیمهٔ دوم قرن ششم قمری است.