عاملان و بانیان: میر احمدبن میرحاج بنّا القمی ـ معمار شیخ جمالالدینبن کمالالدین بنّاءِ قمی ـ معمار شاهوردی بنّا ـ معمار علیبن احمد ـ از عاملین بنا عبدالله ـ خطاط کتیبهٔ ایوان جنوبی
توضیحات: مبتنی بر گنجنامه، بنای مسجد بنیانی بسیار قدیمی دارد و بقایایی از آن در نقاطی از بنای فعلی وجود دارد. گنبدخانهٔ مسجد در قرون چهارم و پنجم قمری به آن اضافه شده است. بنا در قرنهای ششم، هشتم، و احتمالاً نهم و دهم قمری نیز تغییراتی یافته است.